ZP3P-sarjan tyhjiöimukuppi
ZP3P-sarjan pitkittäinen tyhjiölähtötyyppi puskurilla
ZP3P-sarjan pitkittäinen tyhjiölähtötyyppi puskurilla on hiukkasvirtausohjain, joka on suunniteltu korkean tyhjiön ympäristöihin. Sen ydintehtävänä on saavuttaa tehokas ja vakaa pitkittäissuuntaisten hiukkaspalkkien poisto. Samalla se optimoi hiukkasten siirtodynamiikan integroitujen puskurirakenteiden avulla vastaamaan tarkkuusteollisuuden prosessien tarpeita.
Tärkeimmät tekniset ominaisuudet
Pituussuuntainen tyhjiöimuarkkitehtuuri
Aksiaalisesti symmetrinen tyhjiökanavan rakenne on otettu käyttöön sen varmistamiseksi, että hiukkasvirtaus on suunnattu laitteen pääakselia pitkin, vältetään sivuttaisen poiston aiheuttama virtauskentän vääristymä ja säilytetään tyhjiökammion ilmavirran eheys.
Sisäänrakennettu puskurimekanismi
Sisäänrakennettu monivaiheinen dynaaminen puskuriyksikkö toteuttaa korkeaenergisen hiukkasvirran esisäädön kosketuksettoman energiagradienttisäädön avulla, vähentää hiukkasten faasitilan eroa ja tarjoaa hiukkassäteen paremmalla kollimaatiolla loppuvirtaprosesseihin.
Tyhjiöyhteensopiva muotoilu
The entire structure meets the ultra-high vacuum (UHV) material specifications and sealing standards, and the key components are passivated on the surface to suppress the outgassing effect, ensuring long-term stable operation at a vacuum degree of 10-5 Pa and above.
Vaihteiston dynamiikan optimointi
Puskurimoduulin ja erotuskanavan koordinoitu suunnittelu toteuttaa hiukkasten energiaspektrin aktiivisen kompressoinnin, vähentää tehokkaasti sirontahäviöitä ja parantaa säteen laatua, mikä sopii erityisen hyvin sovellusskenaarioihin, joissa on tiukat monokromaattisuusvaatimukset.
Teollisuuden järjestelmän mukautuvuus
Vakiolaippaliitäntä tukee modulaarista integrointia ja voidaan yhdistää saumattomasti erilaisiin tyhjiöprosessikammioihin. Sen magnetoimaton rakenne laajentaa entisestään sen sovellettavuutta magneettikentille herkissä ympäristöissä.







